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低溫高真空泵

發(fā)布時間:2011/6/24 9:52:01 | 閱讀次數(shù):1669次

低溫高真空泵

低溫高真空泵(Cryogenichigh-vacuumPump),又稱保溫泵、冷泵、冷凝泵,它可以高速抽取各種氣體,既可以為科學研究提供潔凈的超高真空環(huán)境(可以達到10-9Pa的超高真空),又可提供超低溫的測試環(huán)境。
  它又是一種高效、耐用、應用范圍很廣的超高真空泵。在保溫泵技術發(fā)展的過程中最重大的突破是G-M(Gifford-McMahon)制冷循環(huán)的應用和二十世紀六十年代活性炭的應用,這種保溫泵大量用于計算機芯片、半導體、平板顯示、數(shù)據(jù)記錄硬體和光電器件的制造過程中。
 保溫泵系統(tǒng)通常需要24h連續(xù)運轉,全年365天持續(xù)工作。在日常運行中可能發(fā)生種種故障,對保溫泵的制冷能力和抽氣特性產生影響。國內對保溫泵系統(tǒng)的故障也曾經進行了初步的研究但內容還遠不能滿足解決大量實際問題的需求。
目前國內引進的保溫泵越來越多,培養(yǎng)一個熟練掌握保溫泵性能的維修人員,不但需要大量的理論培訓,而且需要長時間的實踐訓練,成本高、周期長。雖然保溫泵維修手冊中包含了一些故障處理方面的內容,但并不全面和具體,遠不能滿足技術人員在實際維護中的需要。上海正奧泵業(yè)制造有限公司實踐經驗的總結,是對保溫泵維護手冊的補充,可為使用保溫泵的科技人員提供一些現(xiàn)場檢修的實際指導,對提高檢修效率降低檢修成本有一定的實用意義。

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